高纯气路系统

高纯气体管路主要应用于在电子半导体、石油化工、生物医药、标准检测等高科技领域，近年来以大规模集成电路为***表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求，使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。

高纯气体管路配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分，是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术；所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。

高纯气体管路对于系统设计安全***的要求特别高。系统中很多气体对人们是有害的，特别是其中有些气体如SiH4的自燃***，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有AsH3的剧毒***，任何些微的泄漏都可能造******员生命的危害。

高纯气体及特种气体输送管道，必需采用一种特种处理的高纯不锈钢管，至使高纯管道系统（包含管道、管件、阀门、VMB、VMP）在高纯气体配送中占有至关重要的使命。